1、适用晶圆尺寸：8吋及以下；

2、转速分辨率：±1RPM；

3、旋转速度：20 rpm ~ 2000rpm(空载) ；

4、旋转加速度：20 rpm ~ 8000rpm(空载) ；

5、显影时间设定：0 ~ 300s；

6、时间设置精度：0.1s；

7、3路管路：1路显影液，1路纯水，1路氮气；

8、工艺选择：单步工艺/多步工艺可选，内置50组可编辑程序；

9、电源：220VAC /50Hz，200W；

10、机器外形尺寸：W523mm× L450mm×H320mm。