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1、适用晶圆尺寸：8吋及以下；

2、对准及套刻精度：±500nm；

3、直写速度(mm²/min)：≥40@1μm；

4、光刻光源波长：405nm；

5、光刻光源功率：960mW；

6、数据格式：GDSII、BMP、DXF；

7、曝光模式：步进式曝光、灰度曝光 、激光拖曳曝光；

8、线性位移电机步进精度：≤100nm；

9、运动轴：配备 X、Y、Z 三维直流线性位移电机，运动平台具有X/Y/θ方向；

10、电源：AC220V/50Hz，800W；

11、机器重量：750kg；

12、机器外形尺寸：D1140mm×W780mm×H1812mm。