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1、适用晶圆：8吋及以下；

2、烘胶面板尺寸：Φ220mm；

3、温度范围：室温-300℃；

4、控温精度：0.1℃；

5、温度均匀性：200℃以下≤1%，200℃~300C≤1.5%；

6、电源：AC220/50Hz，1000W；

7、外形尺寸：W390mm×D300mm×H148mm。