1、样品尺寸：≤Φ150；

2、控温范围：室内温度~1200℃；

3、升温速率：100℃/s；

4、控温精度：±0.5℃(RT~1000℃) ，±1℃(1000~1200℃)；

5、温度均匀性：≤1.5%设定温度（石墨托盘）；

6、退火速率：1200℃→400℃，裸片是600℃/min（双石墨盘是130℃/min）。400℃→100℃，裸片是20℃/min（双石墨盘是10℃/min）（氮气吹扫）；

7、退火温区控制：有；

8、PID自整定：配置；

9、炉壁温度监测：有；

10水冷异常监测：有；

11、真空度监测：有。