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1、测量尺寸：≤200mm；
2、测量材料：微纳半导体、光学镀膜、薄膜光伏、电极材料等；
3、光谱种类：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱；
4、光线入射角：固定角；
5、光谱波长：1000nm；
6、单次测量时间：＜10s；
7、膜厚重复精度：优于0.01nm；
8、光斑范围：2-4mm（大光斑）；
9、折射率重复精度：0.005；
10、聚焦功能：手动找焦；
11、电源：220VAC/50Hz，300W；
12、机器重量：150kg；
13、机器尺寸：D320mm× W620mm×H530mm。