1、适用晶圆：6吋及以下；

2、烘胶面板尺寸：Φ170mm；

3、温度范围：室温-250℃；

4、控温精度：±0.2℃；

5、温度波动：≤1%；

6、电源：AC220/50Hz，780W；

7、外形尺寸：W382mm×D282mm×H128mm。