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1、适用晶圆：4吋及以下；

2、烘胶面板尺寸：Φ120mm；

3、烘烤温度：≤200℃；

4、控温精度：±2℃；

5、控温形式：采用温控仪PID调节，自动测温，控温；

6、烘胶板材料：不锈钢；

7、电源：AC220/50Hz，600W；

8、外形尺寸：W280 mm×H360 mm×D220mm。