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1、适用晶圆尺寸：8吋及以下；

2、匀胶转速范围：100 转/分 ~ 12000转/分可调；

3、匀胶时间范围：1秒 ~ 3000秒可调；

4、转速不稳定度：≤±1%；

5、胶的不均匀性：≤±1%；

6、转速调节形式：加减速度可调，可设多种程序控制；

7、机器控制模块：4.3寸全彩色触摸屏显示、灯光闪烁、声光报警；

8、真空输入要求：0.07MPa，真空流量≥12L/min；

9、机器其他配置：自带收液瓶、自带排风设计；

10、电源：AC220V/50Hz，400W；

11、机器外形尺寸：W312mm×H368mm×D355mm。