1、适用晶圆尺寸：4吋及以下；

2、匀胶转速范围：400 转/分 ~ 8000转/分；

3、匀胶时间范围：1秒 ~ 3000秒；

4、转速不稳定度：≤±2%；

5、胶的不均匀性：≤±3%；

6、转速调节形式：采用变频电源控制器调节；

7、机器控制模块：数码显示，微处理器控制；

8、电源：AC220V/50Hz，90W；

9、机器外形尺寸：W278 mm×H358mm×D248mm。